Ultrasonik yarı iletken püskürtme kaplama makinesi

Ultrasonik yarı iletken püskürtme kaplama makinesi

Ultrasonik yarı iletken atomizasyon püskürtme, yarı iletken malzemeleri (fotoresistler ve iletken malzemeler gibi) yüksek frekanslı ultrasonik enerji kullanarak ince, homojen damlacıklara atomize eden hassas bir ince film biriktirme teknolojisidir. Bu damlacıklar daha sonra bir taşıyıcı gaz kullanılarak alt tabaka yüzeyine hassas bir şekilde püskürtülür ve yüksek kaliteli, homojen ince film kaplamalar elde edilir. Bu teknoloji, yüksek verimlilik, yüksek hassasiyet, düşük malzeme kaybı ve ince, homojen kaplamalar gibi avantajlar sunar. Yarı iletken üretimi, yeni enerji ve cam kaplamalarda yaygın olarak kullanılır ve geleneksel püskürtme yöntemlerinin yerini alır.

Çalışma Prensibi

1. Ultrasonik Atomizasyon:

Cihazın kalbi, elektriksel enerjiyi yüksek frekanslı mekanik titreşimlere dönüştüren bir dönüştürücü içeren ultrasonik nozüldür.

2. Sıvı Atomizasyonu:

Sıvı (çözelti, sol veya süspansiyon) nozülden geçerken, titreşen atomizör titreşimler üretir. Titreşim genliği sıvının yüzey gerilimini aştığında, sıvı mikron boyutunda damlacıklara ayrılır.

3. Taşıyıcı Gaz İletimi:

Atomize edilmiş damlacıklar daha sonra önceden belirlenmiş miktarda taşıyıcı gaz (hava gibi) ile alt tabaka yüzeyine eşit olarak taşınır.

4. İnce Film Biriktirme:

Damlacıklar alt tabakaya biriktirilerek sürekli bir ince film kaplama oluşturur.

Yarı İletken Uygulamalarındaki Avantajları

Yüksek Hassasiyet ve Homojenlik:

Yarı iletken üretiminde, son derece yüksek hassasiyet gerektiren fotoresistler, iletken filmler ve yalıtım filmleri gibi uygulamalar için ultra ince ve homojen ince film kaplamalar biriktirme yeteneği çok önemlidir.

Azaltılmış Malzeme Kaybı:

Geleneksel püskürtmeye kıyasla, ultrasonik püskürtme neredeyse hiç damlacık sıçraması veya aşırı sıçrama üretmez, malzeme kullanımını birkaç kat artırır ve özellikle pahalı malzemelerin kaplanması için uygundur.

Yumuşak Püskürtme:

Püskürtme işlemi naziktir ve alt tabakaya zarar vermez, bu da onu kırılgan yarı iletken malzemeler ve elektronik bileşenler için uygun hale getirir.

Çeşitlendirilmiş Nozüller:

Belirli uygulama gereksinimlerini karşılamak için farklı genişliklerde, uzunluklarda, şekillerde ve akış hızlarında nozüller seçilebilir, bu da yerel veya geniş alanların homojen kaplanmasını sağlar.